光刻是芯片制造中的關(guān)鍵步驟之一。
AMTC(Advance Mask?Technology Center)是日本TOPPAN與美國Global Foundries(格羅方德)于德國德累斯頓(Dresden)合資成立的掩模企業(yè)。格羅方德原為美國AMD公司的晶圓生產(chǎn)部門,2009年拆分獨(dú)立,現(xiàn)為臺(tái)積電和三星之后的世界第三大代工廠,但它已經(jīng)放棄了7納米制程的研發(fā)。
掩模的制造離不開原材料和設(shè)備的支撐。