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    中微自研5納米等離子體刻蝕機經(jīng)臺積電驗證
  • 中微自研5納米等離子體刻蝕機經(jīng)臺積電驗證
  •   發(fā)布日期: 2018-12-29  瀏覽次數(shù): 1,428

    不鳴則已,一鳴必驚人!

    當全世界都將目光投向華為,關(guān)注孟晚舟的時候,上海突然傳來大消息,讓國人為之振奮,讓世界為之震撼:

     

    中微半導體設備(上海)有限公司自主研制的5納米等離子體刻蝕機經(jīng)臺積電驗證,性能優(yōu)良,將用于全球首條5納米制程生產(chǎn)線。

    這意味著中微突破了“卡脖子”技術(shù),讓“上海制造”躋身刻蝕機國際第一梯隊。

    刻蝕機,是芯片制造的核心裝備。

    現(xiàn)代信息技術(shù)和人工智能,都是以芯片為基礎的。而刻蝕機作為制造芯片的工具,和光刻機一樣,就相當于農(nóng)業(yè)時代的人手,工業(yè)時代的機床。

    芯片要成為產(chǎn)品,需要設計和制造。

    光刻機和刻蝕機都用于芯片制造,光刻機相當于把設計的電路圖復制到硅片上,刻蝕機再按照這個圖進行施工,他們同樣都是集成電路生產(chǎn)過程中必不可少的一環(huán)。

    ▲中國早期等離子刻蝕機

    下面我們來劃一下這條信息的重點:全球!首條!5納米芯片制程生產(chǎn)線!

    是的,你沒看錯,不負眾望!低調(diào)的中微半導體設備公司,終于在2018年的收官時刻,正式敲定了5nm刻蝕機!

    5 納米,什么概念?

    同樣大小的芯片,誰能裝的二極管越多,誰爆發(fā)的功能就越強大。因此,芯片對納米雕刻工藝,有著極致的追求。

    一個16nm微觀原件,至少有60層微觀結(jié)構(gòu),需要攻克的技術(shù)細節(jié)高達上萬個。

    在實際雕刻過程中,需要經(jīng)過1000多個工藝步驟。他它的加工尺度,為普通人頭發(fā)絲的五千分之一。

    中微半導體CEO尹志堯形容說:“在米粒上刻字的微雕技藝上,一般能刻200個字已經(jīng)是極限,而我們的等離子刻蝕機在芯片上的加工工藝,相當于可以在米粒上刻10億個字的水平。”

    于方寸間近乎神一樣的操作,要求刻蝕機的精度必須達到極致。

    打個比方,在高倍的電子掃描鏡下,將芯片放大一萬倍,它的結(jié)構(gòu)就像是密密麻麻的立交橋和高速公路,而這些高速公路,只有頭發(fā)絲的萬分之一那么寬??涛g機就是在指甲蓋大小的芯片上建這些“立交橋和高速公路”。

    在2018年的收官時刻、在中國高端制造最艱難的時刻,中微半導體的消息無異于平地驚雷,炸響了西方那骯臟的壟斷世界!

    這是中國半導勝利的輝煌一刻、更是中國科技的里程碑時刻!

    自豪的同時,我們要感謝一個人!

    是他,讓中國半導體技術(shù)彎道超車,趕超美日!是他,讓“中國芯”實現(xiàn)中國制造,突破外企獨霸!

    他是誰?

    他曾在美國硅谷從事半導體行業(yè)20多年;個人擁有60多項專利;曾被美國譽為“硅谷最有成就的華人之一”。

    他就是尹志堯! 

    在沒回中國前,尹志堯一直在美國硅谷從事半導體行業(yè),在世界最大的百億美元的半導體設備企業(yè)——美國應用材料公司擔任總公司副總裁。

    曾被譽為“硅谷最有成就的華人之一”,參與了美國幾代等離子體刻蝕機的研發(fā),在半導體行業(yè)20多年,擁有60多項技術(shù)專利。

    然而在2004年,60歲的尹志堯毅然放棄了美國的百萬美元的年薪,沖破美國政府的層層審查,帶領(lǐng)著三十多人的團隊回到中國。

    臨行前,美國把他所有的工藝配方、設計圖紙都沒收了,60歲的他,頂個腦袋回來,創(chuàng)辦了中微半導體。

    他為什么要回國?

    如果說在工業(yè)化時代,鋼鐵是工業(yè)的“糧食”,那么在如今的信息化時代,“芯片”則就是現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”。

    在他沒回國前,中國的芯片行業(yè)曾流傳這樣一句話:除了水和空氣以外,其它全是從國外進口的。

    華為當時雖然能夠設計出頂級的“麒麟芯片”,但并不能生產(chǎn),只能找臺灣的臺積電代工生產(chǎn)。

    但按臺灣方面的要求,臺積電大陸工廠的技術(shù)必須落后臺灣三代。

    毫無疑問,一直以來,中國的半導體技術(shù)在市場上是完全沒有競爭力的!

    但是不攻占這一領(lǐng)域,中國永遠談不上制造強國。

    核心技術(shù)上一旦長期受制于人,那么大量的利潤,以及市場的話語權(quán)都會給別人占據(jù)!

    這口悶氣一直壓在心頭,但卻又不得不接受這個殘酷的現(xiàn)實!

    落后就要挨打,強者生存,這便是現(xiàn)實!

    他說:在國外做得再好,也是給外國人做嫁衣,學成只為他日歸來,報效祖國,讓中國芯片在國際上取得一席之地! 

    他回國后做了些什么?

    剛回來時,公司一窮二白,一切從零開始。

    他和他的團隊一直保持著年輕人的活力,一天工作超過16個小時,只為了能盡快做成世界第一。 

    中微半導體從65nm等離子介質(zhì)蝕刻機開始,45nm、32nm、28nm、16nm、10nm一路走下來,7nm蝕刻機也已經(jīng)運行在客戶的生產(chǎn)線上,再到如今的5nm。

    經(jīng)過幾年臥薪嘗膽,不鳴則已,一鳴必驚人!

    萬萬沒想到,一直在這一領(lǐng)域沒有任何話語權(quán)的中國內(nèi)地半導體企業(yè)能夠彎道超車!走在了半導體技術(shù)的最前沿,要知道以前中國90%的芯片都需要靠進口,怎么可能?

    就如同當初沒人相信中國高鐵技術(shù)能自主研發(fā)并成為世界第一那樣!

    但他們殊不知早在五年前,中國中微就已經(jīng)開始臥薪嘗膽,尹志堯更是說道,要做就做世界第一,做中國第一也會讓別人替代!

    在我看來,中微能做到一點不奇怪。中微就像一個隱形的巨人一般一直潛伏著,而尹志堯更是點燃星火的人。

    最后,盡管這項核心技術(shù)被攻破,不過還是要理性的分析一下。

    要特別注意,中微半導體搞定5nm蝕刻機,完全不等于就可以生產(chǎn)5nm芯片了,因為蝕刻只是眾多工藝環(huán)節(jié)中的一個而已。

    整體而言,我國半導體制造技術(shù)還差距非常大,尤其是光刻機,最好的上海微電子也只是做到了90nm的國產(chǎn)化。

    當然在另一個方面,我國的半導體技術(shù)也在不同層面奮起直追,不斷縮小差距,比如依然很先進的14nm工藝,在14nm 領(lǐng)域,北方華創(chuàng)的硅/金屬蝕刻機、北方華創(chuàng)的薄膜沉積設備、北方華創(chuàng)的單片退火設備、上海盛美的清洗設備,都已經(jīng)開發(fā)成功,正在進行驗證。

    “一個人一輩子能做成一件事已經(jīng)很不簡單了,為什么?中國13億人民,我們這幾個把豆腐磨好,磨成好豆腐,你那幾個企業(yè)好好去發(fā)豆芽,把豆芽做好,我們13億人每個人做好一件事,拼起來我們就是偉大祖國。”

    這是任正非在全國科技創(chuàng)新大會上說的一句話。

    是的,建設科技強國時不我待!只有每個領(lǐng)域的人專心致志的做好每個領(lǐng)域的事,才能實現(xiàn)彎道超車!

    我們相信華為之后,中微同樣會成為其領(lǐng)域最閃耀的星星!而這一切,正在發(fā)生!??!

    假以時日,中國芯片必將屹立世界之巔。


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