近日,在重慶市科技計劃項目支持下,中國科學院重慶綠色智能技術(shù)研究院集成光電技術(shù)研究中心在紫外LED自由曲面配光技術(shù)的應用研究中取得重要進展,成功將紫外LED光源用于曝光機領域,產(chǎn)品已在PCB、液晶面板、觸摸屏等行業(yè)獲得應用。相關(guān)成果已獲得國家專利授權(quán)(專利號:用于紫外LED準直的透鏡201320875490.0、高均勻度的紫外LED曝光頭201420651432.4)。
傳統(tǒng)的平行光曝光機采用高壓汞燈作為光源,其壽命只有1000小時,耗電高,且有污染。采用UVLED替換汞燈光源,壽命可達汞燈的50倍,耗電量可減少90%,大幅降低企業(yè)生產(chǎn)成本,環(huán)保無污染。
目前,重慶研究院已突破LED多自由曲面精確配光、適用于紫外波段的無機光學元件加工等關(guān)鍵技術(shù),首次研發(fā)出基于紫外LED的平行光曝光頭,平行半角可控制在±2°以內(nèi),照明不均勻性小于3%,照明強度高達40mW/cm2。
自主研制的部分UVLED曝光頭及光源模組