根據(jù)國際半導體協(xié)會(SEMI)的數(shù)據(jù), 2017年全球半導體用特種氣體市場規(guī)模為38.9億美元,增長率為12.32%。按此增速,2018年的市場規(guī)模預計在45億美元左右。
目前,國際上電子氣體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)處于非常成熟的時期,全球半導體用電子氣體市場呈現(xiàn)出寡頭競爭的格局,美國空氣化工、法國液化空氣、普萊克斯、德國林德、日本大陽日酸之和占比94%以上。國內(nèi)的半導體用電子氣體市場也主要被國外廠商占據(jù),其中空氣化工、普萊克斯、昭和電工、英國BOC、液化空氣和日本大陽日酸6家公司合計市場占有率高達85%。
當前,世界集成電路產(chǎn)業(yè)正呈現(xiàn)向中國快速轉移的趨勢,因此中國對電子氣體的需求也呈大幅增長態(tài)勢。中國高速發(fā)展的集成電路產(chǎn)業(yè)要求關鍵的電子氣體要盡快實現(xiàn)國產(chǎn)化,并保證穩(wěn)定的供應??上驳氖?,近幾年,國內(nèi)電子氣體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)起步并開始步入快速成長期,出現(xiàn)了江蘇南大光電材料股份有限公司、佛山市華特氣體有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司等一批電子氣體生產(chǎn)企業(yè),在高純六氟化鎢、三氟化氮、氨氣等領域已經(jīng)取得了突破。
但是,由于國內(nèi)電子氣體的生產(chǎn)和供應商規(guī)模較小、質量穩(wěn)定性問題和產(chǎn)品的包裝、儲運等原因,國內(nèi)電子氣體的生產(chǎn)商還不能全面進入集成電路等領域。要真正實現(xiàn)電子氣體的大規(guī)模本土化,擺脫對進口材料的依賴,依然任重道遠。
業(yè)內(nèi)人士表示,中國集成電路產(chǎn)業(yè)要實現(xiàn)從跟蹤走向引領的跨越,電子氣體的突破將是重要一環(huán)。需要國家落實和完善對該類企業(yè)的財稅、資金等優(yōu)惠政策支持,加大財政資金、大基金和金融部門的扶持力度,引導集成電路廠家使用國產(chǎn)電子氣體,從而幫助企業(yè)把握發(fā)展機遇,加快企業(yè)技術進步和做大做強。